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193nm格蘭泰勒偏振器

193nm格蘭-泰勒偏振器采用由空氣間隙隔開的α-BBO雙折射晶體，消除了粘合劑材料在深紫外波段的吸收問題。單層MgF?減反射膜確保193nm的高透射率，同時保持優異的消光性能。該器件具有高激光損傷閾值，是ArF準分子激光光刻和深紫外激光加工等應用中高精度偏振控制的理想選擇。特征：空氣隙接近布魯斯特角切割高極化純度深紫外透射

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193nm格蘭激光偏振器

193nm格蘭激光棱鏡采用高光學均勻性的EUV晶體，在窄帶內具有優異的偏振穩定性。精密封裝減小光路偏差，適用于高精度深紫外激光檢測。特征：空氣隙接近布魯斯特角切割高極化純度裝有逃生窗適合高功率應用

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洛匈棱鏡-193nm

洛匈棱鏡類似沃拉斯頓偏振器，將入射光束分離為尋常光線和非尋常光線，但非尋常光線直線透過，而尋常光線則以一定偏角透過。特征：光路無膠高極化純度適用于中低功率應用

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193nm少級波片

193nm少級波片是深紫外波段偏振器件，可精確調控入射光偏振態，適用于光刻、激光科研等深紫外光學系統，由耐193nm輻射的特殊材料制成，保障穩定性與精度。特征：厚度：0.05-0.5mm 高損傷閾值高延遲均勻性

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193nm空氣隙零級波片

193nm空氣隙零級波片，無粘合層，結構穩定性強，抗老化性能好。石英耐深紫外腐蝕，適合連續高功率激光工作，偏振控制穩定。特征：空氣隙厚度0.3~1.5mm高損傷閾值AR鍍膜并安裝

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真空紫外193nm系列

VUV激光定制偏振片系列工作波長為193.368nm，覆蓋160-250nm波長范圍。該系列產品包括VUV薄晶體偏振片、洛雄偏振片、格蘭偏振片、VUV廣角波片等。這些產品適用于各種激光應用場景，憑借其高精度和高可靠性，為真空紫外激光領域提供專業的偏振解決方案。無論是科研還是工業應用，都能滿足客戶對光學元件的嚴苛要求。有需求的客戶歡迎聯系我們。

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193nm深紫外偏振元件

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