193nm格蘭-泰勒偏振器 采用由空氣間隙隔開的α-BBO雙折射晶體，消除了粘合劑材料在深紫外波段的吸收問題。單層MgF?減反射膜確保193nm的高透射率，同時保持優異的消光性能。該器件具有高激光損傷閾值，是ArF準分子激光光刻和深紫外激光加工等應用中高精度偏振控制的理想選擇。
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特征： 空氣隙 接近布魯斯特角切割 高極化純度 深紫外透射 |
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貨號 :
GTP-193產品產地 :
FuZhou規格：
| 材料： | 深紫外材料 |
| 波長范圍： | 193.368納米 |
| 消光比： | <1x10-4 |
| 并行性： | <1 弧分 |
| 表面質量： | 20/10 |
| 光束偏差： | < 3弧分 |
| 波前失真： | 1/4@632.8nm |
| 損傷閾值： | >200 兆瓦/厘米2 |
193nm格蘭泰勒偏振器
| 零件編號 | 波長范圍(nm) | 消光比 | 視場角(°) | CA fa(毫米) | 外徑(毫米) | 長度±0.1(毫米) |
| GTP4006 | 193.368 | <5x10-6 | >6.0 | 5.0 | 25.4 | 13.0 |
| GTP4008 | 6.5 | 25.4 | 14.0 | |||
| GTP4010 | 8.0 | 25.4 | 16.0 | |||
| GTP4013 | 10.0 | 25.4 | 20.0 | |||
| GTP4015 | 12.0 | 30.0 | 23.0 | |||
| GTP4020 | 18.0 | 38.1 | 28.0 | |||
| GTP4025 | 22.0 | 50.8 | 33.0 |
技術優勢 193nm格蘭泰勒偏振器：
193nm格蘭-泰勒偏振片采用深紫外兼容材料，在193nm波長下具有超低吸收率和優異的透射率，可精確保持偏振方向。其氣隙設計可避免深紫外光中粘合劑的吸收干擾，并搭配專用減反射膜以減少反射損失，適用于高功率深紫外激光應用場景。
193nm格蘭-泰勒偏振器 采用由空氣間隙隔開的α-BBO雙折射晶體，消除了粘合劑材料在深紫外波段的吸收問題。單層MgF?減反射膜確保193nm的高透射率，同時保持優異的消光性能。該器件具有高激光損傷閾值，是ArF準分子激光光刻和深紫外激光加工等應用中高精度偏振控制的理想選擇。 特征： 空氣隙 接近布魯斯特角切割 高極化純度 深紫外透射
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193nm格蘭激光棱鏡 采用高光學均勻性的EUV晶體，在窄帶內具有優異的偏振穩定性。精密封裝減小光路偏差，適用于高精度深紫外激光檢測。 特征：空氣隙接近布魯斯特角切割高極化純度裝有逃生窗適合高功率應用
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