193nm空氣隙零級波片,無粘合層,結構穩定性強,抗老化性能好。石英耐深紫外腐蝕,適合連續高功率激光工作,偏振控制穩定。
特征: 空氣隙 厚度0.3~1.5mm 高損傷閾值 AR鍍膜并安裝 | ![]() |
貨號 :
WPA-193nm產品產地 :
FuZhou規格:
材料: | 石英 |
直徑公差: | +0.0, -0.1毫米 |
波前畸變: | λ/8 @ 632.8nm |
延遲公差: | λ/50 |
并行性: | <1角秒 |
表面質量: | 20/10 |
通光孔徑: | >80% |
涂層: | S1&S2:R<0.2% @ 波長 |
標準波長: | 193納米 |
標準產品:
半波片 P/N# | 四分之一波片 P/N# | 直徑(毫米) |
WPA-210-193 | WPA-410-193 | 10.0 |
WPA-212-193 | WPA-412-193 | 12.7 |
WPA-215-193 | WPA-415-193 | 15.0 |
WPA-220-193 | WPA-420-193 | 20.0 |
WPA-225-193 | WPA-425-193 | 25.4 |
WPA-230-193 | WPA-430-193 | 30.0 |
WPA-235-193 | WPA-435-193 | 35.0 |
WPA-250-193 | WPA-450-193 | 50.0 |
193nm空氣隙零級波片技術優勢:
193nm空氣隙波片采用雙石英空氣隙結構,大幅降低材料吸收損耗,在ArF準分子激光器等深紫外波段具有優異的透射率。其空氣隙設計避免了鍵合產生的熱應力,可承受長時間高功率激光工作。結合離子束拋光技術,波片實現了納米級表面平整度,顯著降低了散射損耗并優化了波前質量,適用于光刻工藝中的高精度偏振控制。