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193nm空氣隙零級波片

主頁 193nm深紫外偏振元件

193nm空氣隙零級波片

深紫外波片
193nm空氣隙零級波片

193nm空氣隙零級波片,無粘合層,結構穩定性強,抗老化性能好。石英耐深紫外腐蝕,適合連續高功率激光工作,偏振控制穩定。

特征:

空氣隙

厚度0.3~1.5mm

高損傷閾值

AR鍍膜并安裝

  • 貨號 :

    WPA-193nm
  • 產品產地 :

    FuZhou
新產品

規格:

材料:
石英
直徑公差:
+0.0, -0.1毫米
波前畸變:
λ/8 @ 632.8nm
延遲公差:
λ/50
并行性:
<1角秒
表面質量:
20/10
通光孔徑:
>80%
涂層:
S1&S2:R<0.2% @ 波長
標準波長:
193納米

標準產品:

半波片 P/N#
四分之一波片 P/N#
直徑(毫米)
WPA-210-193
WPA-410-193
10.0
WPA-212-193
WPA-412-193
12.7
WPA-215-193
WPA-415-193
15.0
WPA-220-193
WPA-420-193
20.0
WPA-225-193
WPA-425-193
25.4
WPA-230-193
WPA-430-193
30.0
WPA-235-193
WPA-435-193
35.0
WPA-250-193
WPA-450-193
50.0

193nm空氣隙零級波片技術優勢:

193nm空氣隙波片采用雙石英空氣隙結構,大幅降低材料吸收損耗,在ArF準分子激光器等深紫外波段具有優異的透射率。其空氣隙設計避免了鍵合產生的熱應力,可承受長時間高功率激光工作。結合離子束拋光技術,波片實現了納米級表面平整度,顯著降低了散射損耗并優化了波前質量,適用于光刻工藝中的高精度偏振控制。

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